1528・ミカサ/MS-B100/スピンコーター(塗布機)/

ミカサ/MS-B100/スピンコーター(塗布機)/

スピンコーター塗布機.com(ミカサ)の製品は、ACサーボモータを使用しているためブラシレスであることから、クリーンルームでのコンタミネーションに優れ、モーターの発熱を低減することで連続使用時の温度上昇による膜厚再現性への影響も受け難くなります。

最大基板サイズ φ4インチウエハー又は75×75mm基板
回転数(rpm) 20~8,000
回転精度 ±1rpm(負荷時)
モーター ACサーボモーター
アクリル
スピン室内径 φ220mm
ステップ・パターン数 100ステップ×10パターン
時間設定 999.9sec
セーフティーインターロック 真空  標準装備
蓋   オプション
滴下装置 取付不可
使用真空圧 -0.08~-0.1MPa
電源 AC100~240V 5A
外形寸法(㎜) 259W×246H×330D
重量 10kg

(※後継モデルMS-B100より)

対応オプション

<特注の種類> <対応機種>
・自動滴下装置(エアー駆動式) 1アーム
2アーム
・自動滴下装置(スタンド式)
・エッジリンス
・バックリンス
・排気ダクト
・廃液ドレイン
・フタリミットスイッチ
・テフロンコート加工
・モーター廃熱ファンの追加
・非常停止スイッチ

(※後継モデルMS-B100より)

使用機種 MS-B100
膜厚測定装置 FILMETRICS製 F50
レジスト OFPR-800LB(東京応化社製)
基板サイズ φ4インチシリコンウエハー
ターゲット膜厚 1μm
膜厚分布 ±0.8%

(※後継モデルMS-B100より)

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