ALVAC/直結型油回転真空ポンプGCD-051X/
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接ガス部面に表面処理を施した、油回転真空ポンプのケミカルタイプ。
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オイルフィルトレーションシステムに接続可能。
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低騒音で低振動。
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逆流防止機構の搭載により、停電などの影響で停止した際に、真空室への油の逆流を抑制。
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強制給油機構の搭載により、排気速度が安定。
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大気圧からの作動が可能。
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内部部品のノックピンによる連結及びフランジモータによりメンテナンスが容易。
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Unit
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50Hz |
60Hz |
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実効排気速度
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L/min
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50 |
60 |
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到達圧力※1
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G.V.Closed
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Pa
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0.67 |
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G.V.Open
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6.7 |
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使用電動機
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単相, 100V, 200W, 4P, 分相始動 |
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全負荷電流
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A
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5.6 |
4.8 |
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油量
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mL
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500～800 |
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使用油
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SO-M |
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質量
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kg
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14.1 |
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吸気管径
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mm
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KF-25 |
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使用雰囲気温度範囲
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℃
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7～40 |
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最大寸法
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mm
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165.5(W)×419(L)×222.7(H) |
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※1：到達圧力はピラニ真空計による測定値です。
（マクラウド真空計による測定の場合、到達圧力が1.3Pa以下のポンプでは、1桁低い値になります。）
